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氦質譜檢漏儀

今天和大家分享的是氦質譜檢漏儀的相關知識，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用，這種方法的優點是:檢漏靈敏度高，充氣柜真空箱系統檢漏，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在導1彈武1器裝備中也離不開檢漏，導1彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏，本文主要真對氦質譜檢漏原理及方法進行綜述。

氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

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氦氣檢漏的主要技術性能

1.真空箱尺寸根據電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯動系統，生產節拍可滿足單臺6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據用戶生產工藝要求來設計，六氟化硫空箱系統檢漏，一般為平開門式、滑臺合箱式；

4.上下料采用機械手或機器人，系統檢漏，正常生產時設備無需人工操作；

5.系統配置二維碼掃描裝置，可將每個電芯的檢測數據對應存儲；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動判斷，并對應放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設置不同等級密碼，更改設備參數；

10.人機交互界面，觸摸屏實時反映運行狀態和測試數據；

11.故障統計功能

12.系統采用配置和標準化設計制作，SF6充氣柜真空箱系統檢漏，確保運行穩定，。

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