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【源燈籠科技】專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室氣路管道工程施工與改造。

吹掃完畢后，用高純氮?dú)膺M(jìn)行檢漏保壓測試，測試壓力應(yīng)為工作壓力的1.2-1.5倍。整個(gè)施工過程中，應(yīng)注意施工安全，特別是空中作業(yè)時(shí)（在梯子或腳手架上施工），應(yīng)有專人固定梯子或腳手架。在土建尚未完工的工地施工時(shí)，須佩帶安全帽，穿安全鞋。實(shí)驗(yàn)室氣路改造設(shè)計(jì)要考慮到原有的通風(fēng)系統(tǒng)老化和破損嚴(yán)重。

表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個(gè)極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時(shí)比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速?zèng)_刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強(qiáng)的氣體，這時(shí)必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會(huì)被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會(huì)發(fā)生危險(xiǎn)事故。

出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏?，在高純氣體輸送過程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。