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什么是流量控制器？

質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

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流量控制器

質量流量控制器在正常工作時，流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。質量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經傳感器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。

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流量控制器安全使用準則

①質量流量控制器應用的成功與否，與安裝有直接關系。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現場環境的振動要盡量設法避免。由于和后的10%控制響應曲線變化，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。

③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發生，這會引起儀表測量度的下降，嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質量的穩壓電源，對現場的振動及使用條件進行經常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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