您好,歡迎來到易龍商務網!
發布時間:2021-09-04 13:24  
【廣告】







石墨舟推舟系統:石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應管內部后,石墨舟推舟機構將退出,自動門關上。載片舟是經特殊設計,在X軸、Y軸、Z軸三個方向可微調,再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關,所以推舟系統是本設備的核心部件。 管式PECVD系統:即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積。

石墨棒功率的調整方式,建議通過調整電壓的方式來調整功率。推薦石墨棒的調壓方式選擇可控硅調壓或調壓器調壓。一般不采用通過改變周波數的調功器的方式來調整。
一般情況下,石墨棒表面負荷密度是由爐內溫度和石墨棒表面溫度的關系求得,建議使用石墨棒較大表面負荷密度1/2-1/3數值的功率。給石墨棒加的電流量越大,石墨棒的表面溫度越高。建議使用盡量小的表面負荷密度(功率)。
請注意石墨棒冷端記載的數值為空氣中1050℃ -50℃范圍測得的電流、電壓,與實際使用不一定相符。
連續使用石墨棒時,希望緩速增加電壓以維持長壽命。
石墨棒盡可能并聯。如果石墨棒阻值不同,串聯時電阻高的石墨棒負荷集中,導致某一個石墨棒電阻快速增加,壽命變短。
同時需加強電阻值的配組,即同一組棒的電阻值盡量接近。一般地,并聯時同組棒電阻值偏差在10%—15%以內,串聯時同組棒電阻值偏差在5%—10%以內。爐溫越高,要求的阻值偏差也應越小。