單軸三坐標氣浮導軌咨詢客服【光波超精密】

光波超精密技術研究院——單軸三坐標氣浮導軌

氣浮導軌氣膜的厚度大于兩個摩擦面的幾何不規則度，在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導軌無固體摩擦，因而具有可靠、長壽命、以及摩擦系數極i小等特點，其傳動效率i高，速度適應性好，且由于氣體的可壓縮性和流動性，因而具有誤差均化作用，能保持一定的精度.氣浮導軌的承載能力、氣腔內壓力分布及承載面積與氣腔內壓力有關。氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學附件及標準裝置。

測量機的氣浮導軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向導軌氣墊分布(俯視圖). X向導軌無驅動側有4個氣墊，上下各2個.驅動側有6個氣墊，其中①、②、③是承載式氣墊，依靠它們來承受整個移動橋的重量，并保持一定的工作間隙.當移動橋沿 X向移動時，它們使橋框平行于 XY平面運動，即限制了 Z向直線運動和繞 X、 Y軸轉動.④、⑤是引導式氣墊，限制了橋框繞 Z軸的直線度運動誤差和旋轉.⑥是預緊性氣墊，使氣墊④、⑤在導軌間有一定的預緊力.

光波超精密氣浮導軌——單軸三坐標氣浮導軌

直線氣浮導軌提供了一種非接觸式空氣軸承，可以代替傳統的軸承式滑動。由于采用了一體化的系統封裝，線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺”)和精密鋁導軌組成。

線型氣動滑塊具有已獲專利的氣動軸承設計，即多孔介質技術?，可以通過在軸承表面形成薄而堅硬的氣層來消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動。這一獨特的設計提高了精度和操作效率，并在氣源失靈時提供了堅固、抗碰撞的設計。

光波超精密——單軸三坐標氣浮導軌

獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設底沙基的設備支承基礎（建議的結構形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實施結構形式：由建筑設計人員根據精密導軌所在設備安裝的地質條件及必需保持的穩定性精度的要求進行設計和建造。

注意：如果您的測量設備周圍有大的震源，請根據地基圖紙準備地基。震源指所有可能對地基產生振動的影響源，含大的加工機床，磨床，沖床，交通要道等。

氣浮導軌基于空氣軸承的基本原理，實現無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用。

氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動。光波超精密氣浮導軌廠家——單軸三坐標氣浮導軌采用直線導軌的滑塊上安裝的油嘴，可直接用注油槍注入油脂，也可將專用油管接頭與供油機的供油油管連接，進行主動潤滑。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來獲得較高的導向精度。通常與伺服驅動，傳感器組成閉環系統，實現高精度位移定位。氣浮導軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應用

超精密工作臺常用導軌有滾動導軌、靜壓導軌等，滾動導軌的應用己經有好多年，滾動導軌的運動精度達到微米級，摩擦因數可以降低到0.002至0.003。當導軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時，氣膜剛度較低總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。滾動導軌的優點是滾動摩擦阻力小，沒有滑動導軌的爬行、浮動現象，但滾動導軌的摩擦大、抗震性差、運動不平穩、壽命低，在應用方面有所欠缺。

靜力學：承受不大于額定載荷時，有足夠的強度及硬度，并確保在負載運動中自身磨損和變形不超過設計極限。

運動學：約束不大于額定負載，沿方向運動，并確保運動過程中，與負載任意配合面間的運動間隙不變。