潔凈施工班組與其他施工班組溝通及協調
(1)門窗位置留洞口及彩鋼板與門窗交界處的細部處理工作。
(2)空調主風管穿越土建墻,協調處理預留洞的位置。
(3)潔凈區施工與動力、非潔凈壁板隔斷區照明及通風、消防報警、儀表自動化安裝之間,相互協調施工進度,做好彩鋼板內穿管,保證開孔位置準確;在設備安裝后要保證接口密封,以符合GMP驗收規范,避免產塵為標準。
凈化車間屬于人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環境(凈化車間)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。
國內現有防排煙模式分析國內目前現有之凈化車間煙控模式共有四種。其中,煙控設計原理,就是利用在凈化車間下層回風區的一般排氣風管,在其上安裝閘門,平時此閘門為關閉狀態,以維持一般排氣的運作,若遇上凈化車間或凈化車間下層回風區發生火災時,則打開閘門以進行排煙。此設計必須有兩個假設成立才能發揮其功效,假設為:若火災發生于凈化車間中,則凈化車間上方的FFU 下吹垂直層流速度必須大過火災向上升的速度,才能壓制凈化車間火災產生的,將其導引向下至下層回風區中,然后經由排氣風管打開的閘門抽走。