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發布時間:2021-10-25 05:41  
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氦質譜檢漏儀的進展
經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質譜檢漏儀的注意事項
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發生響應,對于如此龐大的真空系統,其反應是相當的靈敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。以上是由北京科儀創新真空技術有限公司發表內容,如有需要,歡迎撥打圖片上的熱線電話。筆者根據實測經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。
清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。筆者測算,在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
科儀擁有先進的技術,我們都以質量為本,信譽高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業務。如果您對氦檢漏感興趣,歡迎點擊左右兩側的在線客服,或撥打咨詢電話。
檢漏儀使用中注意事項
檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:
①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內,電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩壓電源(UPS)。
②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。
③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養,保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。
本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內部存在泄漏環節是一個易被忽視卻又易產生故障的環節,當檢漏部位的復檢結果不一致時,就需檢測儀器內部是否有漏。3)電力行業中,電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀,用不同方法進行檢漏。檢漏儀內部結構緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現的故障、現象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。
今天和大家分享的是檢漏儀使用中注意事項,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話或訪問科儀網址,科儀竭誠為您服務!