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發布時間:2020-11-07 02:59  
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氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。耐壓測試要求:一般兩器在執行氦檢漏之前會充注一定壓力(一般不超過3。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
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氦氣檢漏儀
氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。背壓法的檢漏標準主要有QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112密封試驗》,主要應用于各種電子元器件產品檢漏。質譜儀通過其核心部件質譜室,使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后,不同質荷比的離子在場中彼此分開,而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起,如果在適當位置安置接收1器接收所有這些離子,就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖,這就是質譜。
用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計,如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。
專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外,還具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優點。氦質譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。
眾所周知,當一個帶電質點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中,如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直,則它的運動軌跡為圓,如圖1所示。當磁場的磁通密度一定時,不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。背壓法的優點是檢測靈敏度高,能實現小型密封容器產品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來,達到了檢漏的目的。
氦質譜檢漏儀的應用拓展一
例如火箭發動機及姿態發動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發動機質量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。今天和大家分享的是氦質譜檢漏儀的校準方法,如您想了解更多的產品信息,您可撥打圖片上的電話進行咨詢。由于檢漏技術的應用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。
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氦質譜檢漏儀的結構和工作原理
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統及電氣控制部分組成。容積3500m3,分系統多,結構復雜,各種接口焊縫相加有幾千米長,采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏,每條焊縫由檢漏盒密封,配以鋪助抽氣系統將盒內抽低真空后,充入一定壓力氦氣,關閉預抽閥,開啟檢漏閥。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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