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水環式真空泵管路安裝正確方法

1真空系統出口與泵的入口之間距離越短越好；

2管路拐彎越少越好； 進口管路應高于泵的入口中心線，出口管應避免有引起較大阻力的因素，如出口管上爬、直角拐彎等；

3真空泵在停機時，真空泵內部的水位不能高與真空泵自身高度的一半，防止真空泵在啟動時電流過高。

4配接進出口管直徑應與真空泵的進出口直徑一致，如真空系統較小，進出口配接管直徑可以小，且出口直徑應大于或等于入口管直徑；

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩定的運行，延長真空泵維修維保時間，節約運行成本，保證生產設備的生產效率，保證設備產能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶，如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯，需要及時下機保養和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油真空泵就是工作期間不用油做為工作介質和密封的，主要是在工作空間內沒有油，如渦旋泵、螺桿泵、低溫泵等，共同組成的系統可以獲得無油潔凈的空間，這是真空發展的趨勢。

無油節能真空泵

氣缸內的活塞上有活塞環，保證被活塞間隔開的氣缸兩端氣密封性。WLW型往復真空泵活塞在氣缸內做往復運動時，不斷的改變氣缸兩端的容積，一端容積擴大吸入氣體，水環無油節能真空泵價格，另一端容積縮小排出氣體。活塞與氣閥的聯合作用，周期地完成 吸氣和排氣作用，隔油腔及充氣腔將機械傳動部分與氣體流通部分隔開，新型無油節能真空泵價格，以防止油漏入、或帶入氣缸內。當要求抽吸氣回收時，充氣腔內可充入該種氣體。以防止空氣漏入氣缸內而影響氣體純度。

真空泵的泵腔內壓力過低，無油節能真空泵價格，泵腔內會發作嚴重的汽蝕，形成泵的振動、噪聲過大而影響運用的時分，無油節能真空泵廠家，能夠在泵的吸氣區域增加一個真空調理閥，在上述狀況發作時，能夠恰當翻開調理閥以緩和振動和噪聲的影響，或者是降低真空度，到達需求的真空度請求。

真空泵結合工程實例，采用典型工況時間段方法簡化了水泵運行總能耗計算。對不同并聯臺數及不同運行控制方式下真空泵循環水泵變頻調速運行的節能特性進行了分析研究。利用水泵相似定律，給出了確定變轉速運行時各工況點水泵效率的等效率曲線法。