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              發(fā)布時間:2020-10-14 14:16  

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              真空機器人 真空機器人是一種在真空自然環(huán)境下工作中的機器人,關鍵運用于半導體材料工業(yè)生產(chǎn)中,完成圓晶在真空腔房間內(nèi)的傳送。真空機械手難進口、受到限制、使用量大、實用性強,其變成制約了半導體材料裝備整個設備的產(chǎn)品研發(fā)進展和整個設備商品競爭能力的核心部件。并且海外對我國顧客嚴格核查,屬于禁運商品目錄,真空機械手已變成比較嚴重制約在我國半導體行業(yè)整個設備裝備制造業(yè)的“受制于人”難題。直驅型真空機器人技術性歸屬于初始自主創(chuàng)新技術性。


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              03定期檢查視需要經(jīng)常檢查下列要點:檢查是否漏油,如發(fā)現(xiàn)嚴重漏油,應向維修人員求助;檢查齒輪游隙是否過大,如發(fā)現(xiàn)游隙過大,應向維修人員求助;檢查控制柜、吹掃單元、工藝柜和機械手間的電纜是否受損。

              04檢查基礎固定螺釘將機械手固定于基礎上的緊固螺釘和固定夾必須保持清潔,不可接觸水、酸堿溶液等腐蝕性液體。這樣可避免緊固件服飾。如果鍍鋅層或涂料等防腐蝕保護層受損,需清潔相關零件并涂以防腐蝕涂料。





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