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離子束刻蝕

離子束刻蝕技術(shù)是近年來發(fā)展起來的一種微細(xì)加工技術(shù)，它利用反應(yīng)離子束轟擊團(tuán)體表面時(shí)發(fā)生的濺射效應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)剝離加工工作上的幾何圖形。具有極高的分辨率，能夠控制槽深和槽壁角度，表面應(yīng)力小。反應(yīng)離子束刻蝕技術(shù)已有效地用于研究和制造大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路，聲表面波器件，磁泡存儲(chǔ)器，離子束刻蝕機(jī)工作原理，微波器件，集成光路，超導(dǎo)器件，閃爍光柵等。

離子束刻蝕機(jī)

離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺(tái)、快門、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和  電器系統(tǒng)等主要部分組成，圖1-1所示為離子束刻蝕機(jī)的工作原理圖。該機(jī)在正常工作  時(shí)，首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低，再調(diào)節(jié)Ar氣流量，離子束刻蝕機(jī)廠家，使真空室壓力保持  在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體，如O2、CH2等，則可按一定比例與之混合)，  然后啟動(dòng)離子源各電源，使離子源正常工作，離子束刻蝕機(jī)，從離子源引出一定能量和密度的離子束  被中和器發(fā)射的電子中和后，轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。

離子束

1.蝕刻加工：離子蝕刻用于加工陀螺儀空氣軸承和動(dòng)壓馬達(dá)上的溝槽，分辨率高，精度、重復(fù)一致性好。離子束蝕刻應(yīng)用的另一個(gè)方面是蝕刻圖形，如集成電路、光電器件和光集成器件等征電子學(xué)構(gòu)件。太陽能電池表面具有非反射紋理表面。離子束蝕刻還應(yīng)用于減薄材料，離子束刻蝕機(jī)哪家好，制作穿透式電子顯微鏡試片。2.離子束鍍膜加工：離子束鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種形式。離子鍍可鍍材料范圍廣泛，不論金屬、非金屬表面上均可鍍制金屬或非金屬薄膜，各種合金、化合物、或某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點(diǎn)材料亦均可鍍覆。

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