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真空腔體常用的清洗方法

1、放電清洗

放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機(jī)材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜コ?

2、氮?dú)馇逑?

氮?dú)馇逑粗饕抢昧说獨(dú)庠诓牧媳砻娴奈綗嵝　⑽魰r(shí)間短,容易被抽走的特性,用氮?dú)鉀_洗被污染的真空系統(tǒng),同時(shí)擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統(tǒng)的抽氣時(shí)間.

真空腔體

真空腔體是內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,很多先進(jìn)的技術(shù)工藝均需要在真空或惰性氣體保護(hù)條件下完成,真空腔體是這些工藝過程中重要的基礎(chǔ)設(shè)備.

根據(jù)真空度國標(biāo)真空被分為低真空（100000-100Pa）,中真空（100-0.1Pa）,高真空（0.1-10-5Pa）,超高真空（10-5-10Pa）。即真空并不是無物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體。低真空主要應(yīng)用于隔熱及絕緣、金屬熔煉脫氣、無氧化加熱、真空冷凍及干燥和低壓風(fēng)洞等;高真空主要應(yīng)用于真空冶金、真空鍍膜設(shè)備等領(lǐng)域;超高真空則偏向物理實(shí)驗(yàn)方向。

真空腔體真空概念

真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,反映的是空無一物的狀態(tài).在二十世紀(jì)的時(shí)候狄拉克提出了真空的概念,即真空并不是無物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.

真空的屬性確實(shí)是需要用空間來描述,但只是種數(shù)學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說真空的性質(zhì)取決于空間.

真空技術(shù)是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理測量等所需要的技術(shù).

用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個(gè)分子存在.

氣體稀薄程度是對真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.

影響真空絕緣水平的主要因素

電極的幾許形狀

電極的幾許形狀對電場的分布有很大的影響，往往因?yàn)閹自S形狀不行恰當(dāng)，引起電場在部分過于集中而導(dǎo)致?lián)舸@一點(diǎn)在高電壓的真空產(chǎn)品中特別杰出。

電極邊際的曲率半徑大小是重要因素。一般來說，曲率半徑大的電極接受擊穿電壓的能力比曲率半徑小的大。

此外，擊穿電壓還和電極面積的大小成反比，即跟著電極面積的增大而有所下降。面積增大導(dǎo)致耐壓下降的原因主要是放電概率添加。