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氣浮導軌的結構形式

平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。

重量平衡式導軌：此結構導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。

真空負壓平衡式導軌：該導軌結構簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。

線性導軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導向器。

二是靜壓導軌，根據流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。

三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。

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氣體靜壓導軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣靜壓導軌和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態，從而產生氣體摩擦。總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

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空氣靜壓導軌是三坐標測量機實現三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標摩擦導軌，大多采用滑動摩擦導軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數差異較大，且在低速時容易出現爬行現象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導軌代替滑動摩擦導軌。風壓式導軌摩擦系數小，運行平穩，運動精度高，磨損小，是目前三坐標測量機中使用zui廣泛的一種導軌形式。氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學附件及標準裝置。

空氣靜壓導軌的工作原理空氣靜壓導軌的運動部件和承載部件通過氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導面之間的空隙排放出來的。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。光波超精密——超精密氣浮導軌生產廠家氣浮導軌其優點是消音能力好，荷載高，能滿足這兩點要求的直直線導軌產品才算及格產品，否則，即使再貴也是名不副實的產品。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。

直線導軌常簡稱為導軌，它的作用是支承并引導運動部件沿給定軌跡和行程作直線往復運動。導軌由兩個相對運動的部件組成，一個部件固定在機架上，稱為定軌，另一個在定軌上移動，稱為動軌。導軌多用于需要作直線往復運動的執行器。導軌的運動性能在低速時要求平穩、無爬行、定位準確，高速時要求慣量小、無超調或振蕩。導軌的精度、承載能力和壽命對系統的精度、承載能力和壽命有直接影響。導軌按軌面摩擦性質可將導軌分為滑動導軌、滾動導軌、液體靜壓導軌、氣浮導軌、磁浮導軌。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動小、熱穩定性好、不污染環境等優點。滑動導軌結構簡單，剛性好，摩擦阻力大，連續運行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高。

滑軌的靜摩阻力系數和動摩阻力系數相差很大，所以在低速運動時會出現爬行現象。滑軌常用于各種機床的工作臺或床身導軌，多為工作臺、滑臺、滑板、導靴、車頭支架等。軌道橫斷面有矩形，燕尾， V形，圓形等。在重型機械中，多個截面形狀經常聯合使用，共同起著導向和支撐的作用。滾動式導向是將滾動式物體放置在運動部件和支撐部件之間，例如滾珠、滾輪、滾針或滾動軸承。3、主支撐采用專用調整工裝，氣浮支撐調整裝置，每根導軌3個，其余采用5個輔助千斤頂支撐。滾動式導軌的優點是：不會給滑動式導軌帶來1/10的摩擦系數，靜、動摩擦系數差異較小，不易發生爬行現象，可用小功率電機拖曳，定位準確，使用壽命長。

直線導軌的精度包括：1）行走平行度(動態精度)。包括滑塊C面(上表面)相對滑軌A面(底面)的行走平行度，滑塊D面(滑塊側基準面)相對滑軌B面(滑軌側基準面)的行走平行度。2）幾何尺寸精度。包括高度H的尺寸容許誤差，高度H的成對相互差(△H)、寬度W2的尺寸容許誤差、寬度W2的成對相互誤差(△W2)。3、預壓等級的確定預壓力的大小決定了導軌的剛性大小，同時可以消除一定的滑塊徑向間隙，實驗證明預壓的效果可以提高未預壓時直線導軌的剛性2。微細結構的布局區域可以設置不同的構型(如圖1所示)，微細結構的尺寸、形狀、位置和分布密度對微細結構的幾何參數進行減阻特性研究。8倍。PMI的直線導軌預壓等級分為：輕預壓（FC），中預壓（F0），重預壓（F1），超重預壓（F2）四個等級。正確的選定直線導軌的預壓力對設備的剛性具有很大的影響。

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（1）在安裝前務必清除所要安裝機械安裝面上的毛刺、打擊i傷痕及污物注：因LM滾動導軌上涂有防銹油，安裝前請用洗凈油將其擦拭干凈后再安裝。防銹油除掉后的基準面容易生銹，推薦涂抹粘度低的主軸用潤滑油。（2）將LM軌道輕輕地放置與底座上后，不完全鎖緊裝配螺栓使LM軌道與安裝面輕輕的靠緊。（底座的橫向基準面要與LM軌道有標記線的一側對上。）請使用干凈的裝配螺栓來固定LM滾動導軌。同時，再將裝配螺栓插入LM軌道的安裝孔時，要事先確認螺栓孔是否吻合。如果孔不吻合而強行擰入螺栓，則會降低精度。氣浮塊4放置在工作臺6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導軌1和沖擊式導軌1分別與加速度傳感器保護盒5連接。（3）按順序將LM軌道的止動螺絲擰緊，使軌道與橫向安裝面緊靠。（4）使用扭矩扳手，將裝配螺栓按規定的扭矩擰緊。注：LM軌道裝配螺栓的擰緊順序是，從中央位置開始向軸端部按順序擰緊，這樣可獲得穩定的精度。（5）其余的LM軌道也按同樣的方法安裝，直到安裝全部完成。（6）將孔蓋打入裝配螺栓孔，直到與LM軌道的頂面為同一平面為止。