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發(fā)布時間:2022-07-30 03:27  
NH4Cl濃度對蝕刻的影響:從溶液再生的化學反應式可以看出,[Cu(NH3)2]-的再生過程需要有大量的NH3-H2O和NH4Cl的存在,如果蝕刻機藥液缺乏NH4Cl,將使[Cu(NH3)2]-得不到再生,蝕刻速度就會降低,以至于失去蝕刻能力。所以,NH4Cl的含量對蝕刻速度影響很大。但是,溶液中Cl-含量過高會引起抗蝕層侵蝕,鋼板腐蝕機機械設備,一般濃度控制在150g/L左右為宜。
溫度對蝕刻速度的影響:當蝕刻溫度低于40℃時,蝕刻速度很慢,而蝕刻速率過慢會增大側蝕量,影響蝕刻精度。溫度高于60℃,蝕刻速率明顯加快,但氨的揮發(fā)量也大大增加,導致環(huán)境污染的同時使溶液中化學成分比例失調,故一般蝕刻機工作溫度控制在45℃~55℃為宜。






刻蝕相對光刻要容易。光刻機把圖案印上去,然后刻蝕機根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進行一定時間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質,易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕,形成半導體器件及其電路。
擴展資料:
光刻機一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,鋼板腐蝕機供應商,手動、半自動、全自動
1.手動:指的是對準的調節(jié)方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了;
2.半自動:指的是對準可以通過電動軸根據(jù)CCD的進行定位調諧;
3.自動: 指的是 從基板的上載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要。
蝕刻設備的選擇
不管采用什么樣的蝕刻方法,都少不了與之配套的蝕刻設備,濱州鋼板腐蝕機,對于噴淋式蝕刻,需要購買合適的蝕刻機,蝕刻機傳輸式的蝕刻機也有非傳輸式噴射蝕刻機,傳輸式蝕刻機適用于批量生產,非傳輸式噴射蝕刻機適用于中小規(guī)模的生產,這種類型的蝕刻機一般都難以自制,而必須去設備廠定做或者在設備市場購買,蝕刻機選擇的原則主要由生產量決定,這里所指的生產量是指可以預計一段時間內的平均日產量。
如果采用浸泡式蝕刻就需要一定體積的蝕刻槽,蝕刻槽體的材料根據(jù)蝕刻液的性質而定,對于堿性蝕刻,鋼板腐蝕機金屬上刻字,大多采用不銹鋼材料,并要注意有保溫裝置,對于酸性蝕刻體系,可采用 PP材質制作,對于大型的蝕刻槽可以采用不銹鋼加內襯軟PP材料制作。


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