鈣鈦礦熱蒸發(fā)鍍膜機公司誠信企業(yè),沈陽鵬程公司

Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護性能基礎(chǔ)上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。一個入射的蒸氣原子在表面的滯留時間中,原子不斷地擴散形成不均勻的成核作用，隨著蒸氣原子不斷地沖擊表面,各個核都在增長，相鄰各核開始接觸進入聚結(jié)階段，直到形成連續(xù)膜。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設(shè)有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

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300C有機無機聯(lián)合蒸發(fā)

主要用途： 　　

用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜，鐵電薄膜，光學(xué)薄膜等。 　　

系統(tǒng)組成: 　　

該蒸鍍設(shè)計系統(tǒng)主要由真空抽氣及真空測量系統(tǒng)、真空室系統(tǒng)、工件架系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、膜厚測試系統(tǒng)、蒸發(fā)舟擋板系統(tǒng)、烘烤照明系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)及報警系統(tǒng)、電控及控制系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等設(shè)計。 　　

技術(shù)指標(biāo)： 　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa 　　

恢復(fù)真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min 　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S； 　　

真空室：Ф400 x400mm圓筒型真空室 ， 　　

蒸發(fā)源：1-4個，采用電阻蒸發(fā)舟、蒸發(fā)藍、絞絲、束源爐至下向上蒸發(fā)鍍膜。 　

蒸發(fā)溫度：加熱溫度：室溫～1800℃； 　　

蒸發(fā)舟在距中心100～160mm的圓周上；蒸發(fā)舟可上下升降，調(diào)節(jié)幅度0～150mm（樣品中心與坩堝距離150~300mm）； 　

工作架類型及尺寸：樣品托盤直徑Φ300mm，其上可放多個直徑20mm的小樣品；樣品托盤具有自轉(zhuǎn)功能，轉(zhuǎn)速在0～20 轉(zhuǎn)/分鐘，轉(zhuǎn)速可調(diào)；樣品托盤可擺角，角度在0～30度可調(diào)； 　　

烘烤溫度：400℃數(shù)顯自動熱偶控溫（高溫爐盤，數(shù)顯自動熱偶控溫可加熱到700℃） 　　

電阻蒸發(fā)源：電壓5V，10V，功率2.5KW，水冷電極1~4對 　　

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999?

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有機熱蒸發(fā)鍍膜機介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品，我們公司堅持用戶為上帝，想用戶之所想，急用戶之所急，以誠為本，講求信譽，以產(chǎn)品求發(fā)展，以質(zhì)量求生存，我們熱誠地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。

真空：極限真空6*10 -5 帕

工作真空6*10 -4 帕

恢復(fù)工作真空時間：連接手套箱≤10分鐘

不連接手套箱，充干燥氮氣≤30分鐘

本套設(shè)備配有8個有機源及2個金屬源

金屬蒸發(fā)源和有機蒸發(fā)源可按客戶要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有國產(chǎn)或者進口可選

金屬蒸發(fā)源配有1000w電源

有機蒸發(fā)源配有可控溫電源，控溫精度±1℃