天津潔凈工程施工誠信企業「子潤凈化工程」

潔凈手術部內部墻面應使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料

潔凈手術部內部墻面應使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料，墻面必須平整，防潮防霉，Ⅰ、Ⅱ級潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板；Ⅲ、Ⅳ級潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料，縫隙均應抹平。 潔凈手術部內墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面；踢腳必須與地面成一整體；踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。 潔凈手術部內墻體轉角和門的豎向側邊的陽角應為圓角。通道兩側及轉角處墻上應設防撞板。 室內與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

吹淋室不能作為通常收支通道

吹淋室不能作為通常收支通道，由于這種門常為兩扇聯鎖或主動，一旦出現毛病，十分影響分散，所以通常均在吹淋室設旁通門，作業人員多于5人時有必要設此門。平常作業人員出凈化車間時不應走吹淋室而應走旁通門。 凈化區內各凈化車間的門，思考到保持室內壓力情況的需求，其開設方向要朝向壓力大的房間，由于要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時的兩方面需求，規則凈化區和非凈化區之間的門、凈化區與室外的門作為安全分散門對待，其敞開方向一概朝向分散方向，當然，單設的安全門也是如此。

單向流潔凈室的空間布置

單向流潔凈室主要用于電子工業和生物制藥生產的局部區域。在生物產品生產中主要采用局部設置層流罩或凈化工作臺或生物安全柜等來滿足產品生產工藝的要求。在電子工業中的微電子產品或一些電子器件產品生產中需要一個房間或一條生產線，甚至數條生產線的主要工序均需設置在嚴于5級的潔凈室內，才能達到產品生產的要求。為此，單向流潔凈室的空間布置己從 “單層”布置發展到“多層”布置。“單層”布置的單向流潔凈廠房，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，在上技術夾層內布置送風管道、部分公用動力管線，通過設在頂棚上的過濾器向潔凈生產區均勻送風；通過設在下技術夾層的回風地板回風至空氣處理裝置。“多層”布置的單向流潔凈廠房的主要特點是將潔凈生產區與供應產品生產工藝所需的各類公用動力管線、產品生產工藝管線及工藝輔助設施等都布置在下技術夾層（底層）內，同潔凈生產區分層布置。

潔凈技術方向發展空氣分子污染

潔凈技術方向發展 空氣分子污染（Airborne Molecular Contaminants，AMC）作為IC工廠所關心的問題于20年前由日本人提出，近年來，世界IC技術發展迅速，IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設備、工藝材料及傳送系統等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料（化學品、特種氣體等）在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC生產過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環境中，AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題，AMC分子控制技術成為潔凈工程設計與施工建設的主流趨勢。目前，國內的潔凈工程企業中已經開始從事此方向的研究，在該領域比較的企業有亞翔集成，在分子凈化技術方面該公司已經走在了同行業的前列，而中國電子工程設計院則在防微震方面。