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發(fā)布時間:2021-09-26 02:51  
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潔凈手術(shù)部內(nèi)部墻面應使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料
潔凈手術(shù)部內(nèi)部墻面應使用不易開裂、阻燃、易清洗與耐碰撞的材料,墻面必須平整,防潮防霉,Ⅰ、Ⅱ級潔凈室墻面可用整體或裝配式壁板;Ⅲ、Ⅳ級潔凈室墻面也可用大塊瓷磚或涂料,縫隙均應抹平。 潔凈手術(shù)部內(nèi)墻面下部的踢腳必須與墻面齊平或凹于墻面;踢腳必須與地面成一整體;踢腳與地面交界處的陰角必須做成R≥40mm 的圓角。其他墻體交界處的陰角宜做成小圓角。 潔凈手術(shù)部內(nèi)墻體轉(zhuǎn)角和門的豎向側(cè)邊的陽角應為圓角。通道兩側(cè)及轉(zhuǎn)角處墻上應設(shè)防撞板。 室內(nèi)與空氣直接接觸的外露材料不得使用木材和石膏。

吹淋室不能作為通常收支通道
吹淋室不能作為通常收支通道,由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或主動,一旦出現(xiàn)毛病,十分影響分散,所以通常均在吹淋室設(shè)旁通門,作業(yè)人員多于5人時有必要設(shè)此門。平常作業(yè)人員出凈化車間時不應走吹淋室而應走旁通門。 凈化區(qū)內(nèi)各凈化車間的門,思考到保持室內(nèi)壓力情況的需求,其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間,由于要靠壓力把門壓緊,這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時的兩方面需求,規(guī)則凈化區(qū)和非凈化區(qū)之間的門、凈化區(qū)與室外的門作為安全分散門對待,其敞開方向一概朝向分散方向,當然,單設(shè)的安全門也是如此。

單向流潔凈室的空間布置
單向流潔凈室主要用于電子工業(yè)和生物制藥生產(chǎn)的局部區(qū)域。在生物產(chǎn)品生產(chǎn)中主要采用局部設(shè)置層流罩或凈化工作臺或生物安全柜等來滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個房間或一條生產(chǎn)線,甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設(shè)置在嚴于5級的潔凈室內(nèi),才能達到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。為此,單向流潔凈室的空間布置己從 “單層”布置發(fā)展到“多層”布置。“單層”布置的單向流潔凈廠房,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,在上技術(shù)夾層內(nèi)布置送風管道、部分公用動力管線,通過設(shè)在頂棚上的過濾器向潔凈生產(chǎn)區(qū)均勻送風;通過設(shè)在下技術(shù)夾層的回風地板回風至空氣處理裝置。“多層”布置的單向流潔凈廠房的主要特點是將潔凈生產(chǎn)區(qū)與供應產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所需的各類公用動力管線、產(chǎn)品生產(chǎn)工藝管線及工藝輔助設(shè)施等都布置在下技術(shù)夾層(底層)內(nèi),同潔凈生產(chǎn)區(qū)分層布置。

潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。
