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光波超精密——靜壓氣動直線導軌

根據檢測方法的不同，可以對導軌直線度進行分類，對一般的導軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據得到的一條近似于導軌實際線的誤差曲線，確定導軌直線度誤差。

但在測量高精度導軌直線度時，導軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數量級，此時使用距法就不能將導軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導軌廠家——靜壓氣動直線導軌

當前導軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數據

用于三坐標測量機上的導向裝置有：滑動導向裝置、滾動導向裝置和氣浮導向裝置。滑軌精度高，承載能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導軌取代的趨勢。現在大多數三坐標測量機都采用安氣靜壓導軌，也叫氣浮式導軌，其優點是制作簡單，精度高，摩擦系數小，工作平穩。地基的實施結構形式：由建筑設計人員根據精密導軌所在設備安裝的地質條件及必需保持的穩定性精度的要求進行設計和建造。

基于氣體動靜壓效應，氣浮導軌實現無摩擦、無振動的平穩運動。其特點是運動精i確，清潔無污染。由于均化誤差的作用，可采用較低的加工精度獲得較高的定位精度。

一般采用伺服驅動、傳感器、閉環系統的方式實現高精度位移定位。氣浮導軌廣泛應用于測量儀器和精密機械中，超精密工作臺常用的導軌有滾動導軌、靜壓力導軌等，滾動導軌的使用已用多年，滾動導軌運動精度可達微米級，摩擦因數可降至0.002~0.003。滾動式導軌具有滾動摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現象，但其摩擦系數大，抗沖擊性能差，運動不平穩，使用壽命低等優點，在實際應用中還存在不足。氣浮導軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節流器引入導軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負載得以平穩運行。

光波超精密空氣導軌——靜壓氣動直線導軌

與普通滾動導軌相比，氣浮導軌具有以下優點

導軌面之間為氣體潤滑，其摩擦系數極i小(約0.0005左右)，因此可以大大降低傳動功率；

由于系非接觸摩擦，所以導軌磨損極i小，壽命長，可長期保持制造精度，減少維修工作量；

氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌的運動精度；

(4)氣膜厚度與速度幾乎沒有關系，即使在非常低的速度下也不會產生爬行，運動平穩；

(5)在不增加冷卻措施的情況下，幾乎不產生熱量，不發生粘度變化。

光波超精密技術研究院——靜壓氣動直線導軌

閉式靜壓導軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導軌本身的結構的剛度要求比較高；

(3)導軌制造及調整比較復雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導軌一般是采用不等面積氣腔的結構。

同時氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。

光波超精密氣浮導軌——靜壓氣動直線導軌

實踐中，氣浮墊的性能比較復雜，受多種因素的影響。對于要求較高精度的氣浮導軌，應考慮以下實際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節流孔數量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進氣浮軸承的特性，可適當調整氣膜厚度和節流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。

空氣靜壓導軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣從氣浮板和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態，從而產生空氣摩擦。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；改進氣浮軸承的特性，可適當調整氣膜厚度和節流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

大尺寸精密花崗石氣浮導軌系統作為標準基準工作平臺，主要用于大尺寸測量設備的示值校準。通過拓展（安裝長度基準器激光或光柵）常應用于大尺寸測量設備（如：激光跟蹤儀）的距離示值校準、空間尺寸測量示值校準、動態示值校準；激光準直儀的準直精度調試及校準；手持式激光掃描儀、激光測距儀的定位精度校準；高精度工作臺常用導軌有滾動導軌、靜壓力導軌等，滾動導軌的使用已有多年歷史，滾動導軌的運動精度可達微米級，摩擦系數可降至0。通過安裝影像系統可以實現線紋尺、鋼卷尺等測量儀器和設備的測試與校準等。