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發布時間:2020-12-16 17:27  
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淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
關泵。
水環真空泵要停泵時,應先關閉真空泵吸氣管路上的閥門,防止真空泵停泵后恢復常壓狀態,所吸的容器還是負壓狀態時,水箱出現回水現象。關閉進水閥門后關閉電機,這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分,避免下次水環真空泵啟動時,泵腔內水過多而造成電機的啟動負荷過大。
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有效稀釋有害氣體的濃度:
半導體易產生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。
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對傳動系統進行改造
為減少電機、傳動軸的振動向水環式真空泵傳遞,把它與傳動軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷聯軸器,較大補償位移量為0.6毫米,補償角為1°30,這樣,電機、傳動軸的振動可以通過彈性聯軸器得到補償,不會直接傳遞到真空泵。
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