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              磁控濺射機價格免費咨詢 沈陽鵬程真空技術

              發布時間:2021-10-20 18:19  

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              磁控方箱生產線介紹

              用于納米級單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。  

              主要由真空室系統濺射室、靶及電源系統、樣品臺系統、真空抽氣及測量系統、氣路系統、電控系統、計算機控制系統及輔助系統等組成。 

              技術指標:  極限真空度6.7×10-5Pa,系統漏率:1×10-7PaL/S;  恢復真空時間:40分鐘可達6.6×10 Pa(短時間暴露  大氣并充干燥氮氣后開始抽氣)  

              鍍膜方式:磁控靶為直靶,向下濺射成膜;  樣品基片: 負偏壓 -200V  

              樣品轉盤:在基片傳輸線上連續可調可控,在真空下可輪流任意靶位互換工作。樣品轉盤由伺服電機驅動,計算機控制其水平傳遞;  

              可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統,計算機控制系統的功能:對位移和樣品公轉速度隨時間的變化做實時采集,對位移誤差進行計算,以曲線和數值顯示。樣品公轉速度對位移曲線可在線性和對數標度兩種顯示之間切換,可實現換位鍍膜。

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              磁控濺射的種類介紹

              磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

              靶源分平衡式和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態磁控陰極和非平衡態磁控陰極。樣品基片:負偏壓-200V樣品轉盤:在基片傳輸線上連續可調可控,在真空下可輪流任意靶位互換工作。平衡態磁控陰極內外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加了碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高。

              但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區域所受離子轟擊較小。非平衡磁控濺射技術,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片磁控濺射區域的等離子體密度和氣體電離率。不管平衡還是非平衡,若磁鐵靜止,其磁場特性決定了一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉磁場。但旋轉磁場需要旋轉機構,同時濺射速率要減小。標配4只Φ2英寸永磁靶,4臺500W直流濺射電源,主要用來開發納米級單層及多層的金屬導電膜、半導體膜以及絕緣膜等。旋轉磁場多用于大型或貴重靶,如半導體膜濺射。對于小型設備和一般工業設備,多用磁場靜止靶源。

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              雙靶磁控濺射鍍膜機的特點有哪些?

              沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售磁控濺射產品,以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。

              產品特點

              1:此款鍍膜儀配置有兩個靶槍:一個靶槍配套的是射頻電源,用于非導電靶材的濺射鍍膜;一個靶槍配套的是直流電源,用于導電材料的濺射鍍膜

              2:該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜,應用非常廣泛。

              3:該鍍膜儀體積較小,且配備有觸摸屏控制面板,操作方便。



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