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發布時間:2021-08-03 14:56  
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影響誠薄機誠薄硅片平整度的因素有哪些?
要保證硅片厚度的一致性。因為當研磨時,由于磨料分布不均勻,使得行星齒輪片_上、下硅片研磨速度也會不一樣,所以要想保證硅片的減薄速度一樣,就必須在每研磨到一定時間時將行星齒輪片翻轉后再進行研磨,從而確保硅片厚度的一致性,同時也讓硅片厚度公差得以縮小,具體要研磨多久才進行翻車專為適當,是要根據減薄厚度和測試結果來定的。
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減薄機設備組成
北京凱碩恒盛科技有限公司主營項目:雙面研磨機,內圓磨床,外圓磨床,減薄機,軸承磨加設備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。
減薄機本設備主要用于硅片、陶瓷、玻璃、石英晶體、藍寶石、其他半導體材料等非金屬和金屬的脆硬性材料精密零件的高速減薄。由工件吸盤,吸盤主軸及驅動器組件,砂輪,砂輪主軸及驅動組件,絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構成。
硅片減薄機
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產品。如: LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
工作原理:
1.本系列橫向研磨機為精密磨削設備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產。
點:
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在 0.002m范圍內。
2.減薄; LED藍寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機采用CNC程控系統,觸摸屏操作面板。
立式減薄機IVG-200S設備特點
1.操作簡單
該設備采用PLC控制系統,通過簡單的培訓,操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導下,熟練操作設備。當設備出現故障時, 屏幕向導會提示出錯編碼,易于排除故障。
2.設計安全
該設備的設計處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。
3.保證精度
磨盤的進給采用微米步進電機進給系統,保證長時間的加工精度。
4.各輪獨立驅動
磨盤及工件盤均采用獨立的電機,分別采用變頻或伺服控制,轉速可任意調整,且控制簡便。
5.冷卻水循環使用
冷卻水箱配有雜質過濾系統,冷卻水可循環使用,即節約成本,又減少了對環境的環境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設備。
