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流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。在被測流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。

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流量控制器安全使用準則

①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否，與安裝有直接關(guān)系。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設(shè)法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結(jié)果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。

③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會引起儀表測量度的下降，嚴重時會導(dǎo)致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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流量控制器

一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進行控制時，用質(zhì)量流量控制器。流量控制器特點1、穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化2、寬量程比，可達100：13、高達0。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。