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發布時間：2021-01-22 13:23
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光波超精密——閉式空氣導軌
氣浮導軌的結構形式
平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。
重量平衡式導軌：此結構導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。
真空負壓平衡式導軌：該導軌結構簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。
真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。
線性導軌主要有以下幾種類型
一、滑動(動壓力)導向器。
二是靜壓導軌，根據流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。
三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。
四、磁浮軌道
幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。
開式靜壓導軌，有以下特性：
承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；(2)導軌結構簡單，易于制造和調整；
當導軌尺寸確定后，氣腔壓力僅由載荷來決定，因此在載荷較小時，氣膜剛度較低。
總之，開式靜壓導軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。
閉式靜壓導軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導軌結構的限制，故屬于幾何閉合。
光波超精密空氣導軌——閉式空氣導軌
小孔節流器矩形空氣靜壓導軌采用俯視圖和剖面圖。壓力為導向器工作時，氣源氣流通過進氣孔受到節流作用，氣體從進氣孔流出后壓力下降，然后進入承載氣膜，并向四周擴散流動，氣體壓力從承載板外邊界流出，下降到環境壓力，在承載板與工作臺面之間形成平均厚度為 h的氣膜。氣流形成一定的壓力場，使支撐板下部表面的氣膜支撐力與上方表面的環境大氣作用相差甚遠，可獲得導軌的承載力。由于導軌在移動過程中不與支承體直接接觸，基準表面的摩損較小，所以其潤滑精度高，使用壽命長。當負荷一定時，氣動靜壓導軌和軌道之間自動保持相應的氣膜厚度，使承載力和負荷平衡，終實現氣動導軌的重量平衡。
光波超精密技術研究院——閉式空氣導軌
設備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導軌組系統、精密氣浮工作臺系統、移動驅動系統、長導軌電、氣傳輸隨動系統、CCD 影像系統、溫度補償系統。
自動驅動功能和影像測量功能的配置
3、設備的簡單規格：3.1、精密導軌采用高精度花崗巖組拼接，長度按客戶需求，高精度直線導軌的工作面應無劃傷、裂紋、夾層、銹蝕等影響設備氣浮位移性和設備絕i對穩定性的質量缺陷。
導軌直線度：水平方向：0.003 mm/m 4000mm 0.015 mm； 若裝置行程 6 米以上即需要拼接，單根導軌長度 4 米。
光波超精密氣浮導軌——閉式空氣導軌
3.2 、導軌前端獨立的工作臺（不小于 1000x630）mm，安置備用鑲嵌件（螺紋孔），以放置激光測量系統。
3.3 、主支撐采用專用調整工裝，氣浮支撐調整裝置，每根導軌 3 個，其余采用 5 個輔助千斤頂支撐。3.4、滑動工作臺系統：滑動工作臺為氣浮結構。
3.4.1. 手動方式可實現微調，保證對線及其他定位（自動方式另有方案）。
3.4.2. 氣浮滑動工作臺上具有安裝附件的螺紋孔，便于安裝光學附件及標準 裝置。
3.4.3. 氣吸附滑動工作臺承載能力大于 50 ㎏。
