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電容式位移傳感器的特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸入能量也很低。電容位移傳感器它通過(guò)電位器元件將機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成與之成線性或任意函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。電容式傳感器因帶電極板間靜電引力小(約幾個(gè)10-5N)，因此所需輸入能量小，所以特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題，例如測(cè)量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。

溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱小，對(duì)穩(wěn)定性影響甚微。

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性強(qiáng)，待測(cè)體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造,可做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量；能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，也能對(duì)帶有磁性的工件進(jìn)行測(cè)量。

位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。由于敏感元件是非接觸的，就算不斷重復(fù)檢測(cè)，也不會(huì)對(duì)傳感器造成任何磨損，可以大大地提高檢測(cè)的可靠性和使用壽命。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè)，大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率可達(dá)到納米級(jí)）、抗干擾能力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。

通過(guò)測(cè)量時(shí)間，就可以高度精準(zhǔn)地確定這個(gè)距離。由于輸出信號(hào)是一個(gè)真正的絕dui值,而不是比例的或放大處理的信號(hào),所以不存在信號(hào)漂移或變值的情況,更無(wú)需定期重標(biāo)。

磁致伸縮位移傳感器是根據(jù)磁致伸縮原理制造的高的精度、長(zhǎng)行程位置測(cè)量的位移傳感器。選擇位移激光傳感器不僅能夠加緊建立人類與天然出產(chǎn)領(lǐng)域之間的聯(lián)系，而且還能夠與眾多行業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行推廣滲透滲出，同時(shí)能夠進(jìn)步工具精準(zhǔn)度和保證設(shè)備工作狀態(tài)。它采用非接觸的測(cè)量方式，由于測(cè)量用的活動(dòng)磁環(huán)和傳感器自身并無(wú)直接接觸，不至于被摩擦、磨損，因而其使用壽命長(zhǎng)、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)，可靠性高，安全性好，便于系統(tǒng)自動(dòng)化工作，即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境下，也能正常工作。此外，它還能承受高溫、高壓和強(qiáng)振動(dòng)，現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于機(jī)械位移的測(cè)量、控制中。

變極距型電容傳感器

變極距型電容傳感器分為可動(dòng)極板，一般稱為動(dòng)片和固定極板，當(dāng)動(dòng)片因被測(cè)量變化引起移動(dòng)時(shí)，就改變了兩極板間的距離d，從而使電容量發(fā)生變化。設(shè)初始極距為d，則

若電容器極板距離由初始值d縮小Δd不是線性關(guān)系。但是，若時(shí)。則式可以簡(jiǎn)化為

此時(shí)，C與Δd近似為線性關(guān)系，所以變極距型電容式傳感器只有在Δd/d很小時(shí)，才有近似的線性關(guān)系，一般位移應(yīng)小于間距的1/10。

在實(shí)際應(yīng)用中，為了改善非線性、提高靈敏度和減少外界干擾的影響，電容傳感器常做成差動(dòng)形式。