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發(fā)布時(shí)間：2021-07-27 14:41
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真空機(jī)組對(duì)機(jī)組的要求
超高真空抽氣機(jī)組超高真空抽氣機(jī)組工作在10-5~10-10Pa的超高真空壓力范圍內(nèi),除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200~450℃高溫烘烤外,對(duì)機(jī)組的要求還有:
(1)主泵的極限真空度高,至少在10-7~10-8Pa以上。
(2)在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵應(yīng)具有一定的抽速。
(3)機(jī)組的主泵或主泵進(jìn)氣口以上部分能承受200~450℃的高溫烘烤。
(4)來(lái)自主泵的返流氣體(包括工作液蒸氣及解析的氣體)的分壓力足夠低。
(5)對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵,要配備足夠大的輔助泵。
(6)機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門(mén)等部件,對(duì)材料的選擇和密封要特別慎重。一般采用出氣率較低的不銹鋼和金屬密封材料,以耐高溫烘烤。
真空機(jī)組工藝簡(jiǎn)介
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的中心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)中心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵中心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。2）真空機(jī)組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對(duì)人身造成的刺傷或扎傷危險(xiǎn)。
真空機(jī)組風(fēng)險(xiǎn)分析，使用真空機(jī)組需要注意什么？
（1）容器炸裂
真空機(jī)組未配備排氣壓力監(jiān)控裝置或壓力調(diào)節(jié)閥，可能導(dǎo)致機(jī)組內(nèi)壓力過(guò)高導(dǎo)致容器炸裂的事故發(fā)生。
（2）機(jī)械傷害、物體打擊
1）真空機(jī)組工作過(guò)程中其運(yùn)動(dòng)部件，對(duì)人身可能造成擠壓、纏繞、引入或卷入、沖擊等危險(xiǎn)。
2）真空機(jī)組零部件由于形狀因素等，其銳邊、尖角可能對(duì)人身造成的刺傷或扎傷危險(xiǎn)。
3）真空機(jī)組零部件在使用過(guò)程中，由于松動(dòng)、脫落或折斷、碎裂、甩出等可能造成的沖擊、拋射危險(xiǎn)。
