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              發布時間:2020-12-30 09:19  

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                  微粒大小的量度通常以粒徑表示。直接減少向大氣的廢熱排放量,尤其對于南方地區具有良好的經濟性。但是微粒特別是灰塵粒子并不都具有球形、立方形等規則的幾何外形,因此通常所稱微粒的“粒徑”,并不是指真正球體的直徑。在氣溶膠及空氣潔凈技術中,“粒徑”的意義通常是指通過微粒內部的某個長度因次,而并不含有規則幾何形狀的意義。在分析微粒大小的時候,“粒徑”就是指的這種含意。 具體地說,粒徑可分為兩大類: 一類是按微粒幾何性質直接進行測定和定義的,如顯微鏡法確定的粒徑。例如,在灰塵采樣以后,普通光學顯微鏡來觀測時,使灰塵標本向一個方向移動通過測微尺,此時微粒投影通過這一標尺時,為標尺刻度線所切的兩端的長度就代表粒徑。


              無塵室設計及工作環境的介紹


                無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。專用凈化空調機組國內無定型產品,多數由凈化設備廠從空調器生產廠購進壓縮機、蒸發排管、冷凝器等散件,另配風壓較高、風量較大的風機及各級過濾器,重新設計箱體加工而成。更準確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用1大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。

                 無塵室的定義:空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。麗研究微粒的光散射性質時宜用平均面積直徑Ds或平均體積直徑Dv,因為光散射量在不同的粒徑范圍內,可能與微粒面積或者微粒體積有關。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫院等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,潔凈室可以占據廠房很多位置。

                 無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣,連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內的制造區。對于表中所列平均粒徑名稱要注意的是,在文獻中常出現互相顛倒的稱呼,例如此處稱“平均面積直徑”,而彼處則稱“面積平均直徑”,所以只有知道其表達式才能弄清準確意義。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經由回風管道間,將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格,通過循環風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量,后經過超過濾網或過濾后,供應至Fab區。




                 在產品生產工藝提供者的密切配合下,準確地確定潔凈室需設排風裝置的房間或工序或生產設備的排風量,這是由于潔凈室內排風量的增加,即意味著凈化空調系統的補充新風量的增加。(2)潔凈度測試:分為空態條件下測試、靜態條件下測試、動態條件下測試,分別測試潔凈室內粉塵的含量。在潔凈廠房設計中有時會出現由于排風量的增加使凈化空調系統的新風量大于規定的新鮮空氣需用量,從而使設計的熱(冷)負荷增加,因此,準確地確定潔凈室內排風量是降低能量消耗的重要技術措施之一。



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