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發(fā)布時間:2021-08-06 23:11  
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硅片厚度也是影響生產(chǎn)力的一個因素,因?yàn)樗P(guān)系到每個硅塊所生產(chǎn)出的硅片數(shù)量。超薄的硅片給線鋸技術(shù)提出了額外的挑戰(zhàn),因?yàn)槠渖a(chǎn)過程要困難得多。
除了硅片的機(jī)械脆性以外,如果線鋸工藝沒有精密控制,細(xì)微的裂紋和彎曲都會對產(chǎn)品良率產(chǎn)生影響。超薄硅片線鋸系統(tǒng)必須可以對工藝線性、切割線速度和壓
力、以及切割冷卻液進(jìn)行精密控制。 

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硅塊被固定于切割臺上,通常一次4塊。切割臺垂通過運(yùn)動的切割線切割網(wǎng),使硅塊被切割成硅片(圖2)。切割原理看似非常簡單,但是實(shí)際操作過程中有
很多挑戰(zhàn)。線鋸必須平衡和控制切割線直徑、切割速度和總的切割面積,從而在硅片的情況下,取得一致的硅片厚度,并縮短切割時間。


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硅對原料要求具有必要的純度,有良好的反應(yīng)能力,以便達(dá)到產(chǎn)品的規(guī)格;還原劑具有不同的反應(yīng)能力,以便能與石英石發(fā)生充分反應(yīng);爐料具有不同的成分,并且既有不同的粒度,以便通過適當(dāng)?shù)呐浜希範(fàn)t料電爐發(fā)生良好的影響。

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