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真空干燥箱操作方法：

 當所需工作溫度較低時，可采用二次設定方法，如所需溫度60℃，第l一次可設定50℃，等溫度過沖開始回落后，再第二次設定60℃。這樣可降低甚至溫度過沖現象，盡快進入恒溫狀態。

根據不同物品潮濕程度，選擇不同的干燥時間，如干燥時間較長，真空度下降，需再次抽氣恢復真空度，應先開真空泵電源，再開啟真空閥。

干燥結束后應先關閉干燥箱電源，開啟放氣閥，解除箱內真空狀態，再打開箱門取出物品。(解除真空后，如密封圈與玻璃門吸緊變形不易立即打開箱門，經過一段時間后，等密封圈恢復原形后，才能方便開啟箱門。)

使用操作烘箱要注意以下幾點：

（一）烘箱的時間一定要調正確，這樣才能達到烘烤的效果。

（二）烘箱的溫度一定要調正確，這樣才能保正烘烤的質量。

（三）烘箱的廢氣排放一定要合理，千萬不能堵住。

（四）烘箱按裝的電線一定要有足夠的截面，保證安全用電。

（五）烘箱按裝必須接可靠的地線。

（六）烘箱裝放的四周必須有一定的散熱空間，不能靠近易著火物。

（七）烘箱四周要裝放氣體滅火器。

熱風循環烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止濕腐蝕過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。它適用于比室溫高5~300℃（有的高200℃）范圍的烘培、干燥、熱處理等，靈敏度通常為±1℃。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環烘箱吳般有加熱管，有循環風機的烘箱都可稱為熱風循環烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環，所以都可通稱為熱風循環烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。烘箱原理：烘箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得烘箱內部的溫度值，在通過控制系統進行操作。