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發(fā)布時間:2020-11-04 03:52  
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電容式加速度傳感器又稱變電容式加速度傳感器,它的結(jié)構(gòu)原理如下圖所示,一個質(zhì)量塊固定在彈性梁的中間,質(zhì)量塊的上端面是一個活動電極,它與上固定電極組成一個電容器C1;質(zhì)量塊的下端面也是一個活動電極,它與下固定電極組成另一個電容器C2。
當被測物的振動導致與其固連的傳感器基座振動時,質(zhì)量塊將由于慣性而保持靜止,因此上、下固定電極與質(zhì)量塊之間將會產(chǎn)生相對位移。這使得電容C1、C2的值一個變大、另一個變小,從而形成一個與加速度大小成正比的差動輸出信號。
實際應用當中,源于獨特的磁屏蔽環(huán)設(shè)計,電容式傳感器可以實現(xiàn)近乎的線性測量。但是位移激光傳感器可以運用于各種物體位移、厚度、振動、間隔、直徑等精密的幾何丈量。但是,電容傳感器要求探頭到被測物體之間的電介質(zhì)必須均勻恒定。測量系統(tǒng)對于測量范圍內(nèi)的電介質(zhì)變化非常敏感。電容式位移傳感器也可以用于絕緣體的測量,源于這些絕緣體會改變測量間隙內(nèi)的介電常數(shù)。通過后續(xù)電路的調(diào)整,即使測量絕緣體,也可以得到幾乎線性的信號輸出。源于電磁轉(zhuǎn)化過程,電容傳感器可以測量所有金屬。電容測量系統(tǒng)主要測量平板電阻的阻抗值,阻抗值與探頭到被測物體之間的距離成正比。
電容傳感器的特點
電容變換器需要將所測的力學量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進行放大和處理。因此可以說沒有眾多的優(yōu)良的位移激光傳感器現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)出產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。 在有些條件下,這些力學量變化相當緩慢,而且變化范圍, 測量要有較高的分辨率,其他傳感器很難做到高分辨率要求, 而有的電容測微儀分辨率為0.01 μm, 大量程為100±5 μm,因此一般采用電容式傳感器進行檢測比較適宜,
這類傳感器具有以下 突出優(yōu)點:
高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,輸入能量也很低。
電容式傳感器因帶電極板間靜電引力(約幾個10-5N),因此所需輸入能量,所以特別適宜用來解決輸入能量低的測量問題,例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力非常髙,能感受0.001μm甚至更小的位移。