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發(fā)布時間：2021-04-04 03:22
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電子潔凈廠房工藝冷卻水和純水管材的選擇
工藝冷卻水管道主要有不銹鋼管道及塑料管道兩種。
（1）不銹鋼管道
根據(jù)工藝冷卻水的水質(zhì)要求，SS304不銹鋼管即可滿足要求，但是半導(dǎo)體、TFT行業(yè)通常采用純水制備過程中產(chǎn)生的反滲透（RO）出水作為工藝冷卻水的補充水源，而RO出水根據(jù)純水制備工藝流程的不同其酸堿度也有所不同。當水的pH值呈中性或弱堿性時，可采用SS304不銹鋼，當水的pH值呈酸時（RO出水在不加堿的情況下通常呈酸性），需采用抗酸性好的SS304L不銹鋼。制藥GMP車間潔凈度等級要求潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的標準(用塵埃粒子計數(shù)器檢測）潔凈度等級空氣中懸浮粒子允許濃度（個/m3）靜態(tài)動態(tài)≥0。
潔凈車間濕度的測試：濕度測試可采用通風(fēng)干濕球濕度計、電容式濕度計、數(shù)字式濕度計、毛發(fā)式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時間相同，應(yīng)一同測試。
溫度測試是確認空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測試應(yīng)在潔凈車間進行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24H以上后進行。潔凈車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進行測試時應(yīng)用;一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時溫度測試。3、FRP防腐風(fēng)機種類確定：(1)軸流風(fēng)機、單臺通風(fēng)柜，單原子吸收罩較小風(fēng)量采用。
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回系統(tǒng)回，塵埃隨向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
3.復(fù)合式：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。因此，在進行潔凈車間工程時，企業(yè)要準確把握影響潔凈車間工程造價的因素，注意潔凈車間造價控制要點。
凈化工程是一項系統(tǒng)而復(fù)雜的工作，除了各工種、各專業(yè)的共同參與外，也離不開各種凈化設(shè)備，在某些時候凈化設(shè)備的好壞會關(guān)系到凈化工程的成敗。本文便重點介紹凈化工程中常見的凈化設(shè)備。
1、風(fēng)淋室
在許多無塵車間淋室都是必不可少的設(shè)備之一。風(fēng)淋室的作用是去除附著在進出車間人員衣物上的灰塵、發(fā)屑等微小顆粒，從而減少人員進出車間帶來的安全隱患。風(fēng)淋室的工作原理是利用可旋轉(zhuǎn)噴嘴將強勁清潔的空氣吹向人員，從而達到去除灰塵的目的。
