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發布時間：2021-08-28 19:44
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氦質譜檢漏原理
氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pa?m3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量，電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性：
①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；
③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；
④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備；
⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。
今天科儀小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助！
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法及標準
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。
真空法氦質譜檢漏
采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。氦質譜檢漏儀光無源器件檢漏光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的準確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來，在罩內充滿一定濃度的氦氣，可以實現被檢產品總漏率的測量。
檢漏儀常規的維護
適當的維護您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：
1、探頭清潔：利用附送的防護罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。
2、拉下防護罩；
3、用工業毛巾或壓縮空氣清潔防護罩；
4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業毛巾清潔，嚴禁用像礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。
5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關，因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩定時，應更換探頭，具體探頭步驟是如下：
（1）確認本儀器處于關閉狀態
（2）逆時針旋下舊探頭
（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。
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氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）
1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗；
2、對被檢工件抽真空；
3、對被檢工件充注氦氣；
4、真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；
5、回收并循環使用氦氣；
6、如果氦氣浪費嚴重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純
7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。
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