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發布時間:2020-10-29 07:34  
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光波超精密——三坐標氣浮導軌報價
氣浮導軌的幾何精度包括:導軌在垂直面和水平面之間的直線度,導軌面之間的平行度,導軌間的垂直度;導軌導向精度是指運動部件運動軌跡與給定方向的偏差程度,主要取決于導軌本身的幾何精度和導軌配合間隙,其中配合間隙的大小主要取決于導軌的結構類型、表面粗糙度、導軌剛度以及熱變形等因素。
影響導軌精度的主要因素如下:
導軌直線度:它對導軌面間平行度和導軌間垂直度均有直接影響
光波超精密氣浮導軌廠家——三坐標氣浮導軌報價
導軌剛度:導軌受力將導致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點變形是由于導軌面的微觀不均勻性引起的;局部變形通常發生在應力集中的地方;導軌本身的變形是指導軌受外載后,整體變形,與導軌的材料、布置有關。
導軌表面粗糙度:主要由導軌材料、硬度及研磨工藝決定。
導軌結構形式:直接影響機床的定位精度、重復定位精度以及其它精度指標。
該微結構能有效地應用于超精密機床的動靜導軌表面,可有效地降低氣浮導軌間隙內高速氣體的流動阻力,提高機床定位精度和系統運動速度。以計算流體動力學方法(CFD)為基礎(Computational fluid dynamics, CFD),應用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-:湍流模型,建立了導軌微結構表面流體動力減阻分析模型,并結合流場分析和阻力分析,尋找符合氣浮導軌功能要求的微結構表面。本文研究了導軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數對減阻效果的影響規律,并通過識別各種因素對減阻效果的影響規律,分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結構表面形態,確定了z適ui合超精密機床氣浮導軌減阻要求的微溝槽形狀。然后,通過研究導軌氣浮表面微結構減阻功能表面的幾何特性(構型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規律,對氣浮導軌微結構功能表面的參數進行了優化設計。
光波超精密空氣導軌——三坐標氣浮導軌報價
氣浮式導軌利用空氣的粘性,把外壓縮空氣通過節流器引入導軌和滑塊之間的間隙,形成具有超高剛度的氣膜間隙,使負載得以平穩運行i。
氣浮式導軌電子制造設備工業中超精密測量和實驗室測量,如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業磨擦系數接近零,永i不磨損。
持久的精i確度,出廠精i確度即永i久精i確度
導向器永i不磨損,因此不存在售后問題,無需返修,更不用全套更換。
精i確度永不丟失,導軌無需人工校正,補償。
計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩、振幅小、振動頻率接近,所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響,摩擦力小,低速運動不會產生爬行抖動現象。隨動電機快速性好,適應頻繁啟停測試要求
光波超精密技術研究院——三坐標氣浮導軌報價
閉式靜壓導軌具有如下特點:
(1)能夠承受正反向的載荷,能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強;
(2)氣膜剛度較高,所以對導軌本身的結構的剛度要求比較高;
(3)導軌制造及調整比較復雜;
(4)為了減少功率的損耗,閉式靜壓導軌一般是采用不等面積氣腔的結構。
同時氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。
光波超精密氣浮導軌——三坐標氣浮導軌報價
實踐中,氣浮墊的性能比較復雜,受多種因素的影響。對于要求較高精度的氣浮導軌,應考慮以下實際因素:(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大,其承載能力和剛度也越大;總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節流孔數量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進氣浮軸承的特性,可適當調整氣膜厚度和節流孔直徑的大小,這種方法既簡單又有效。