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目前制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面：種：采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

    其優(yōu)點在于初次投資少，天津純水設(shè)備，占用的地方少，但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生，耗費大量酸堿，天津純水設(shè)備多少錢，而且對環(huán)境有一定的破壞。

高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：

1.微電子工藝對水質(zhì)的要求；

2.制水工藝的水平；

3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。

在高純水的生產(chǎn)過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除；水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除；水中的細菌，天津純水設(shè)備廠家，目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領(lǐng)域中，天津純水設(shè)備價格，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

超純水是純水的基礎(chǔ)上進一步將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于 18M Ω *cm 或接近 18.25M Ω *cm 極限值。超純水是一般工藝很難達到水平，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、 EDI 技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達 18.20M Ω *cm 3.純水和超純水區(qū)別存在于很多方面

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