河北真空箱氦檢漏設備保養優惠報價 北京科創真空

真空箱式氦檢漏系統

以下是科創真空為您一起分享的內容，銳誠真空公司專業生產銷售氦檢漏設備，歡迎新老客戶蒞臨。

機械系統主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質制造，其內表面在加工后經拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元，氦質譜檢漏儀采用進口產品，自動校準漏孔。技術成熟，性能穩定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協調緊密。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

1.氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件.使用安全。

2、在氮兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6)，質荷比都與氮相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開，定標找氨峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低易于加工。2、供方將在合同簽定后盡快向需方提供設備外形尺寸、設備電功率、供電位置、用水（氣）壓力、用水（氣）量、管徑等。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

1、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氮信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險，另- -方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產:大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。氦氣檢漏設備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。設備適應用電力行業,家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。