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發(fā)布時間:2021-01-13 11:18  
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旋片真空泵
深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。2013年止,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。
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⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。⑸真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。⑺真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。⑻真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,hao能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求。
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真空設(shè)備檢漏
深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。
氦氣質(zhì)譜分析儀:該方法就是在負(fù)壓法的基礎(chǔ)上,采用質(zhì)譜儀來進(jìn)行檢漏,其連接方式有多種,根據(jù)實(shí)際的使用,對為通用和檢漏本Di的方式進(jìn)行說明,該方法可以對漏點(diǎn)進(jìn)行位置的確定和泄漏量的判斷。
其工作原理為:開始主要由真空系統(tǒng)對腔體進(jìn)行抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到檢漏儀起測點(diǎn)后,開啟檢漏儀,檢漏儀本身也是一組由小型分子泵和機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng),其開啟后也參與腔體的抽氣工作,此時,檢測人員,就可以采用氦氣對腔體中所有接口及焊縫進(jìn)行吹氣,如果有漏點(diǎn)存在,當(dāng)氦氣經(jīng)過此位置時,就會有少量的氦氣隨同空氣進(jìn)入腔體,再由真空管路抽走,此時,會有少量的氦氣進(jìn)入檢漏儀中,檢漏儀內(nèi)部的氦氣質(zhì)譜儀,就會檢測到氦氣的存在,通過報警器發(fā)出報警,提示檢測人員在此位置附近存在泄漏點(diǎn)。由于,氦氣的密度小,在大氣中其會向上飄散,故此,在吹氣檢測時,應(yīng)從設(shè)備上部開始吹氣,以便漏點(diǎn)的位置確定。在進(jìn)行雙層夾套的檢漏時,可以將夾套作為獨(dú)立的腔體進(jìn)行單獨(dú)抽真空檢漏,實(shí)現(xiàn)對內(nèi)外壁的一次性檢測。由于目前檢漏儀技術(shù)足以做到使真空系統(tǒng)的漏氣量遠(yuǎn)小于系統(tǒng)的放氣量,因此真空系統(tǒng)所需要的真空泵的大小主要取決于真空系統(tǒng)所使用的材料放氣率的大小。所以,針對不同類型的內(nèi)膽材料需要真空泵的抽速也會不盡相同。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
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深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空檢漏設(shè)備公司真空檢漏設(shè)備公司真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,目前這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。
氦質(zhì)譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體,對真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點(diǎn),是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。⑸按電動機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。