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凈化工程之“肺“--HEPA過濾器的由來

以確保空氣清潔，使科學家可以免遭危害。隨后科學家在約翰斯·滕豪斯所改良的空氣過濾器的基礎上進一步的發展研發，終于研發出了HEPA過濾器。這種過濾器不僅可以凈化空氣，還可以去除空氣中的細菌、病毒、灰塵、花粉、霉菌孢子等粉塵及顆粒物。

早的過濾器為有隔板過濾器,用瓦楞狀鋁箔隔板分隔濾紙。20世紀70年代之前。

國人那時開始對這種過濾器結構產生興趣。20世紀80年代，國內多家院所和企業研制無隔板過濾器；20世紀90年代，國內數家企業引進國外無隔板過濾器成套生產線。自此,我國慢慢開始發展自己的過濾器產業.

自以來，過濾器凈化用途已經從原來單純的個人防護向企業工作環境的空氣凈化方面發展,廣泛應用于光電子、半導體。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應用

掃描時采樣頭距過濾器面約1英寸（約2. 54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊。檢測過程中，若有報警聲（即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處使用專用膠水堵漏或緊固以后再進行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5 min左右，在測試的過程中，應經常確認上游氣溶膠的濃度。