真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:①半導體行業:薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;②科學儀器行業:同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器;③機械設備行業:材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備;④行業:儀器、透析機;生物制品行業:材料提純與藥品制備;⑤包裝行業:食品、藥品、生物制品等包裝設備;⑥真空冶金行業:真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備等領域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤,因而動力傳遞簡單,相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結構簡單緊湊、整機尺寸小,動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小,泵內運動件與泵腔無摩擦,所以幾乎無磨損,運行平穩,消耗功率小,氣體流動損失小,工作可靠性高、壽命長,易于維修,維修費用低,容積。采用空氣冷卻,無需水冷。
目前有兩代渦旋泵產品。代產品由于軸承密封隔離不是很好,不能做到完全無油,故不推薦使用。第二代產品是單級渦旋設計。只有一個軸承,軸承與真空腔隔離,完全無油。并且裝有控制系統,可變頻控制0、50、60、70Hz,故性能較好。產品不需要維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,具有較強的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國Varian公司:美國Varian公司1998年開發了渦旋泵,到目前已有三代渦旋泵產品。代產品已基本停產。第二通過技術改進,形成了風格的二級設計:級是三渦旋線同時抽氣,可提高抽速,工作在從大氣壓到5.5×104Pa;第二級是單渦旋線,從5.5×104Pa到極限。一、二級同時工作,是真正的(從壓力角度區分的)兩級泵。第三代產品是在第二代產品上增加了控制系統。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產品,作為分子泵的前級主泵,不需要維修,2~3年更換密封件,維護方便、簡單,因此在我國銷量達100臺/年以上。
一般情況下,真空泵工作2000小時后應進行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件,如轉子、旋片、彈簧等。一般用清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。
在使用萊寶真空泵過程中可能會出現軸裂的現象,這是因為真空泵的使用條件決定其運行過程中受力不一致,這就造成了軸與葉輪配合的部分發生磨損,擴大了軸與葉輪的間隙,隨著葉輪在軸上竄動,間隙會越來越大,受力也越來不均勻,因此軸裂的間隙更大了。而且當葉輪在軸上不斷竄動時,葉輪會一次又一次的和兩側泵蓋碰撞磨損,這也會造成葉輪與泵蓋間的間隙變大,甚至會使機泵失效而失去作用。