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              NR26 25000P光刻膠公司生產基地「賽米萊德」

              發布時間:2021-09-25 08:58  

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              光刻膠介紹

              光刻膠介紹

              光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料,可以在光照后發生化學性質的改變,這是整個工藝的基礎。

              光刻膠有不同的類型,PMMAPMGI)以及DNQ(酚醛樹脂)等材料都可以做光刻膠。

               目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家,包括 FUTURREX、陶氏化學、杜邦、富士膠片、信越化學、住友化學、LG化學等等,中國公司在光刻膠領域也缺少核心技術。

               


              光刻膠國際化發展

              業內人士認為,按照現在“單打獨斗”的研發路徑,肯定不行。相關部門要加大產業政策的配套支持力度,應從加快完善整個產業鏈出發,定向梳理國內缺失的、產業依賴度高的關鍵核心電子化學品,要針對電子化學品開發難度高,檢測設備要求高的特點,組織匯聚一些優勢企業和,形成一個產業聯盟,國家建立一個生產應用平臺,集中力量突破一些關鍵技術。光刻膠的主要技術指標有解析度、顯影時間、異物數量、附著力、阻抗等。

              江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示,光刻膠要真正實現國產化,難度很大。問題是國內缺乏生產光刻膠所需的原材料,致使現開發的產品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產光刻膠重要的色漿,至今依賴日本。前道工藝出了問題,保證不了科研與生產,光刻膠國產化就無期。光刻膠國際化發展業內人士認為,按照現在“單打獨斗”的研發路徑,肯定不行。因此,必須通過科研單位、生產企業的協同創新,盡快取得突破。

              有提出,盡管國產光刻膠在面板一時用不起來,但還是要從政策上鼓勵國內普通面板的生產企業盡快用起來。只有在應用過程中才能發現問題,解決問題,不斷提升技術、工藝與產品水平,實現我國關鍵電子化學品材料的國產化,完善我國集成電路的產業鏈,滿足國家和重點產業的需求。據WitsView數據,雖然近三年國際LCD廠商面板出貨量有所下降,但是由于大屏顯示的市場擴增,LCD整體出貨面積變大,2016年出貨總面積達到1。


              NR9-1000py

              問題回饋:

              1.我們是LED制造商,麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。

              A 據我所知,Futurrex

              有幾款膠很,NR7-1500P

              NR7-3000P是專門為離子蝕刻

              設計的,NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應用。

              2.請問有沒有可以替代goodpr1518,Micropure去膠液和goodpr顯影液的產品?

              A 美國光刻膠,Futurrex

              正膠PR1-2000A

              , 去膠液RR4,和顯影液RD6可以解決以上問題。

              3.你們是否有可以替代Shipley

              S1805的用于DVD的應用產品?

              A 我們建議使用Futurrex

              PR1-500A , 它有幾個優點:比較好的解析度,比較好的線寬控制,

              反射比較少,不需要HMDS,RIE后去除容易等~

              4. 求助,耐高溫的光阻是那一種?

              A Futurrex, NR7 serious(負光阻)Orpr1 serious(正光阻),再經過HMCTS

              silyiation process,可以達到耐高溫200度,PSPI透明polyimide,可耐高溫250度以上。

              5.厚膜光阻在鍍金應用上,用哪一種比較理想?

              A Futurrex , NR4-8000P比干膜,和其他市面上的濕膜更加適合,和理想。

              6.請教LIFT-OFF制程哪一種光阻適合?

              A 可以考慮使用Futurrex

              ,正型光阻PR1,負型光阻用NR1&NR7,它們都可以耐高溫180度,完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

              7.請問,那位知道,RIE

              Mask,用什么光阻比較好?

              A 正型光阻用PR1系列,負型光阻使用NR5,兩種都可以耐高溫180度。

              8.一般厚膜制程中,哪一種光阻適合?

              A NR9-8000P有很高的深寬比(超過4:1),一般厚膜以及,MEMS產品的高需求。

              9.在DEEP

              RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎?

              A 建議不使用,因為使用NR5-8000更加理想和適合。

              10.我們是OLED,我們有一種制程上需要一層SPACER,那種光阻適合?

              A 有一種膠很適合,美國Futurrex

              生產的NR1-3000PY

              and和

              NR1-6000PY,都適合在OLED制程中做spacers



              光刻膠

              按感光樹脂的化學結構,光刻膠可分為光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠和光交聯型光刻膠。在應用中,采用不同單體可以形成正、負圖案,并可在光刻過程中改變材料溶解性、抗蝕性等。

              光聚合型光刻膠

              烯類,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合。

              光分解型光刻膠

              疊氮醌類化合物,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性。

              光交聯型光刻膠

              聚乙烯醇月桂酸酯,在光的作用下,分子中的雙鍵打開,鏈與鏈之間發生交聯,形成一種不溶性的網狀結構從而起到抗蝕作用。

              按曝光波長,光刻膠可分為紫外(300~450 nm)光刻膠、深紫外(160~280 nm)光刻膠、極紫外(EUV,13.5 nm)光刻膠、電子束光刻膠、離子束光刻膠、X 射線光刻膠等。

              按應用領域,光刻膠可分為PCB 光刻膠、LCD 光刻膠、半導體光刻膠等。PCB 光刻膠技術壁壘相對其他兩類較低,而半導體光刻膠代表著光刻膠技術的水平。


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