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發布時間：2021-04-04 03:22
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電子潔凈廠房工藝冷卻水和純水管材的選擇
工藝冷卻水管道主要有不銹鋼管道及塑料管道兩種。
（1）不銹鋼管道
根據工藝冷卻水的水質要求，SS304不銹鋼管即可滿足要求，但是半導體、TFT行業通常采用純水制備過程中產生的反滲透（RO）出水作為工藝冷卻水的補充水源，而RO出水根據純水制備工藝流程的不同其酸堿度也有所不同。當水的pH值呈中性或弱堿性時，可采用SS304不銹鋼，當水的pH值呈酸時（RO出水在不加堿的情況下通常呈酸性），需采用抗酸性好的SS304L不銹鋼。制藥GMP車間潔凈度等級要求潔凈區空氣懸浮粒子的標準(用塵埃粒子計數器檢測）潔凈度等級空氣中懸浮粒子允許濃度（個/m3）靜態動態≥0。
潔凈車間濕度的測試：濕度測試可采用通風干濕球濕度計、電容式濕度計、數字式濕度計、毛發式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時間相同，應一同測試。
溫度測試是確認空氣處理設施的溫度控制能力，溫度測試應在潔凈車間進行調試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調系統連續運行24H以上后進行。潔凈車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態”或“動態”進行測試時應用;一般溫度測試主要使用于“空態”時溫度測試。3、FRP防腐風機種類確定：(1)軸流風機、單臺通風柜，單原子吸收罩較小風量采用。
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回系統回，塵埃隨向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
3.復合式：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。因此，在進行潔凈車間工程時，企業要準確把握影響潔凈車間工程造價的因素，注意潔凈車間造價控制要點。
凈化工程是一項系統而復雜的工作，除了各工種、各專業的共同參與外，也離不開各種凈化設備，在某些時候凈化設備的好壞會關系到凈化工程的成敗。本文便重點介紹凈化工程中常見的凈化設備。
1、風淋室
在許多無塵車間淋室都是必不可少的設備之一。風淋室的作用是去除附著在進出車間人員衣物上的灰塵、發屑等微小顆粒，從而減少人員進出車間帶來的安全隱患。風淋室的工作原理是利用可旋轉噴嘴將強勁清潔的空氣吹向人員，從而達到去除灰塵的目的。
