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發布時間：2020-12-28 04:51
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本儀器是一套使用積分半球對薄膜狀樣品或粉狀物樣品進行量子效率測試的系統。
產品特點非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計。、高再現性量測紫外到近紅外波長反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率、k:消光系數)。寬闊的波長量測范圍。(190nm~1100nm)薄膜到厚膜的膜厚量測范圍。(1nm~250μm)對應顯微鏡下的微距量測口徑。
FE3000反射式膜厚量測儀:產品特點非接觸式、不破壞樣品的光干涉式膜厚計。、高再現性量測紫外到近紅外波長反射率光譜，分析多層薄膜厚度、光學常數(n:折射率、k:消光系數)。
可在軟件上設定激發光源的波長及步值，實現自動測量
電流-量子效率曲線
電流-光通量曲線
電流-功率曲線
電流-色溫曲線
電流-色坐標曲線
電流-顯色性曲線
電流-電壓曲線
熒光材料樣品所反射的激發光，在積分球內壁上反射，并再次照射到熒光材料樣品上，發出熒光的現象叫做再激發。為了修正這個熒光發光的成份，如圖所示，改變Xe激發光（投光用光纖）的角度，將激發光的照射點改為樣品口的硫i酸鋇（或Spectralon）一面來進行測試。這樣可以將對積分球內壁上漫反射引起的再激發熒光成份進行測試，實行修正。
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解析非線性i小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/適化法
基板解析/里面反射補正/各類nk解析模型式
絕i對反射率/解析結果Fitting/折射率n的波長相關性/消光系數k的波長相關性
3D顯示功能（面內膜厚分布、鳥窺圖、等高線、斷面圖）
