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發布時間:2021-10-08 22:44  
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無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室控管項目:
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
⒉ 能防止微塵粒子之產生。
⒊ 溫度和濕度之控制。
⒋ 壓力之調節。
⒌ 有害氣體之排除。
⒍ 結構物與隔間之氣密性。
⒎ 靜電之防制。
⒏ 電磁干擾預防。
⒐ 安全因素之考慮。
⒑ 節能之考量。
⒒照度的的調節
無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。 單流向型無塵室,很多都是設計成垂直層流,因此風速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。非單流向型無塵室,由于微??刂频挠^念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠比風速重要,因此多只需要測量風量。
在高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有精準的控制才行。機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
個人物品,例如煙、錢包、紙巾和紙制品,都要存放在辦公桌或者儲物柜里,不能把它們帶進潔凈室。除非得到管理人員的特別許可,否則,在潔凈室里,衣服口袋只能是空的。蘇州卓宇泰公司要求在進入潔凈室之前,首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產品。一次性鞋套每天更換一到兩次。