旋片式真空泵維修-捷誠(chéng)真空機(jī)械-石碣真空泵維修

輔助抽氣系統(tǒng)：

排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。

機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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真空泵維修的保養(yǎng)小竅門(mén)

真空鍍膜產(chǎn)品長(zhǎng)期暴露在空氣中，面對(duì)酸堿等強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)的接觸，還是難以抵擋。因此，平時(shí)保養(yǎng)維護(hù)時(shí)，盡量不選用含強(qiáng)酸強(qiáng)堿或去污能力強(qiáng)的清洗劑，如潔廁精，脫漆劑，金屬清洗劑等，可以選用工業(yè)酒精用絨布輕柔擦拭；如果表面有污垢，也要選用弱酸弱堿溶劑來(lái)處理。

此外，如果長(zhǎng)時(shí)間暴露在惡劣環(huán)境中，或與腐蝕性液體長(zhǎng)時(shí)間接觸，PVD膜層也容易出現(xiàn)脫落等問(wèn)題，如游泳池（含氟），海水（含鹽分多），高溫高濕（蒸汽）等環(huán)境中。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機(jī)復(fù)合信息存儲(chǔ)薄膜研究取得的成果說(shuō)明真空技術(shù)在未來(lái)的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測(cè)量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來(lái)信息社會(huì)的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開(kāi)發(fā)。在即將到來(lái)的21世紀(jì)，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進(jìn)入信息社會(huì)的各個(gè)領(lǐng)域，發(fā)揮越來(lái)越大的作用。

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