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氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，檢漏設備生產廠家，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，檢漏設備廠家，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，檢漏設備，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質譜檢漏儀熱管檢漏

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熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導原理與致冷介質的快速熱傳遞性質，透過熱管將發熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導熱能力超過任何已知金屬的導熱能力。熱管技術目前廣泛應用于計算機、各類電器等設備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。

熱管需要檢漏原因：

熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，氦檢漏設備價格，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，氦檢漏設備，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用 氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界 IT 產業 500 強之一，分公司及營業處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，全球員工近 90000人。該企業是全球較大的電源供應器制造商，市場占有率達 25% 以上。

熱管檢漏方法：

該企業熱管出廠前標準漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質譜檢漏儀檢漏時，設定 E-8 為報警值，當漏率低于該值時產品是合格的，當漏率高于此值，檢漏儀發出聲光警報，說明產品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產品沒有抽真空的標準接口，上海伯東根據客戶實際情況定制真空夾具，檢漏設備哪里有，一頭連接檢漏儀，一頭連接產品，具體做法如下：

1.啟動氦質譜檢漏儀，裝上夾具

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵，開始抽真空

4.在產品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線

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