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用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。

2、氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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高壓開關檢漏——氦質譜檢漏儀

高壓電器行業提出的《生產63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產品符合技術條件和安全性。高壓開關設備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質，產品要求開關內部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產過程中就要對部件以及出廠整機做檢漏，高壓電器采用的氦質譜檢漏儀的氦質譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發生泄漏和誤檢，使總裝后的產品氣密性達不到要求，導致返工，不但浪費了人力物力，也耽擱了生產周期。由于采用了氦質譜檢漏儀彌補了傳統檢漏的不做，同時可以檢漏漏點和漏率。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法根據被檢工件的情況而定的：

1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件，采用背壓發，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統抽至5Pa以下，關掉抽氣閥，打開檢漏閥，進行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數值超過規定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業從事氦質譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統的研發、生產及銷售為一體的專業型高科技企業。自成立以來嚴格執行產品國際標準、及行業標準，應用現代經營理念與管理手段，擁有強大的技術支持和先進的生產與檢測設備，精心制造出穩定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產品。

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氦質譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現意外情況，系統突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發生了脆斷現象。

氦質譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質譜檢漏儀的日常保養與維護

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質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用，但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障和現象，從而影響設備的正常使用。

檢漏儀的故障和處理

1 內部的泄漏

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩定

1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，檢漏儀應有可靠的接地。

3）本底信號不穩定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。

4 設備的質譜室不能正常工作

質譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現乳白色，都將導致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產生熱保停止工作，使用機械泵的環境溫度在 10至 40之間使用。