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發布時間:2021-01-12 16:11  
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背壓法氦質譜檢漏
采用背壓法檢漏時,首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中,浸泡數小時或數天,如果被檢產品表面有漏孔,氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中,使內部密封腔中氦分壓力上升。如果采用低壓力的檢漏氣體充注試件,抽空也是特別重要的,因為試件中殘留的空氣將稀釋充注的檢漏氣體。然后取出被檢產品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內,被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。
背壓法的優點是檢測靈敏度高,能實現小型密封容器產品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標準主要有QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》,主要應用于各種電子元器件產品檢漏。
氦氣檢漏的原理
大家都知道氣分子內部結構穩定,化學性質并不活潑并且密度較小,由于這些特性氦氣不會,也不容易和其他物質發生反應。因為這些性質,所以氦氣經常被用來檢漏。
其實任何可以感測氣體分壓之質譜儀,均可以作為真空系統漏氣之偵測,通常為分子量較輕的氣體,氦氣滲透漏孔, 的質譜測漏儀,多將質普分析器固定在特定質量,通常為氦氣的質量,以氦氣為漏氣體在欲偵測處到處噴氦氣,觀察質普是否改變,來辦別是否有漏氣,這是氦氣檢漏的原理。背壓法的檢漏標準主要有QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112密封試驗》,主要應用于各種電子元器件產品檢漏。
氦氣在在半導體中的檢漏作用
為了防止半導體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質而導致性能退化,就必須采用管殼來密封。由于兩種檢漏氣體均有向上運動的趨向,建議從底部送入新鮮空氣和從頂部排放氣體至室外。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產生一些肉眼難以發現的小洞,所以在元器件封裝之后,就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小,容易穿過小洞而進入到管殼內部,所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞(即能夠檢測出漏氣速率約為10?11~10?12cm3/sec的小洞),靈敏度可與性檢漏方法匹敵,但要比性檢漏方法簡便。
氦氣檢漏試驗的方法:首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中,并加壓,讓氦氣通過小洞而進入管殼中;然后取出,并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣;接著采用質譜儀來檢測管殼外表所漏出的氦氣。