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發布時間:2021-03-17 18:50  
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凈化車間壓差的控制
維持壓差的控制措施有:(1)回風口控制,即通過回風口上的百葉可調格柵或阻尼層改變其阻力來調整回風量,達到控制室內壓力的目的。這是一種簡單的控制方式,特點是結構比較簡單、經濟。格柵控制調節方便,但格柵不易密閉,且調節幅度不大,同時也會對氣流方向產生影響。一般使用初效泡沫塑料或初效無紡布作為阻尼層,通過改變回風口的阻力來調整回風量,控制潔凈室內外的壓差。隨著阻尼層使用時間增長,其阻力增加,室內正壓有加大的趨向,因此應定期進行清洗,阻尼層可以重復使用。水路管道檢查:水路管道檢查至關重要,這相關以后的水路安全隱患問題。(2)余壓閥控制通過手動或自動調整余壓閥上的平衡壓塊,改變壓閥的閥門開度,實現室內的壓力控制。余壓閥一般設在潔凈室下風側墻上。采用這種措施時,潔凈室內需有足夠的剩余正壓值,如果排風量發生變化,需重新調整余壓閥。余壓閥安裝簡單,但長期使用后關閉不嚴。如果余壓閥完全關閉時室內正壓值仍低于要求值,則需改用其他方式控制室內壓差。(3)調節回風閥或排風閥根據檢測的室內壓力值,調節回風管上(或排風管上)的電動閥,改變回風量(或排風量),控制潔凈室內的壓力值。(4)差壓變送器控制,通過差壓變送器檢測室內的壓力,然后調整新風量,新風(OA)管路上的電動閥(MD)閥門開大(變小)。
?潔凈室中的溫濕度控制
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。7、在帶電設備附近搭拆腳手架時,應停電進行,否則必須遵守下列規定:(1)、嚴禁跨越35千伏及以上帶電設備。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產jia溫度范圍為35—45%。
?電子產業仰賴潔凈技術
潔凈技術對我國電子信息產業發展意義重大,因為它與產品的成品率有著直接關系。電子行業對生產環境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。上海市室內環境凈化協會在與電子信息潔凈用戶交流過程中,潔凈室節能、潔凈室的化學污染物質的控制、潔凈室氣流組織、潔凈室使用人的培訓及潔凈室運行管理等問題都是熱門話題。這是因為和空調系統相比,凈化系統新風的塵濃負荷比高達90%以上,因此,為了運行質量必須強調新風三級過濾。目前由于國際上大型電子企業紛紛到中國建廠,潔凈室需求也隨之增加,為其提供潔凈技術支持的國際上幾個的潔凈技術公司和工程公司也跟著這些企業移師中國,群雄逐鹿,搶占市場。中國的潔凈企業也快速發展,在江蘇吳江地區,從事潔凈設備、施工、建造的企業已經多達2000多家。而中國在潔凈室用手套、抹布和潔凈服等產品生產領域已經成為世界上的主要生產國。隨著我國工業發展的日益高科技化,產品日益精密化、微型化,對潔凈環境的依賴也越來越強,潔凈行業在我國存在著巨大的市場空間。