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              發布時間:2020-12-29 16:52  

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              從大到天體望遠鏡的透鏡,小到大規模集成電路線寬μm要求的微細工程和微機械的微納米尺寸零件,不論體積大小,其高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復雜化,各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機械技術為超精密制造技術引來一種嶄新的態勢?它的微細程度使傳統的制造技術面臨一種新的挑戰,促進了各種產品技術性能的提高,發展過程呈現出螺旋式循環發展,直接對科學技術的進步和人類文明作出貢獻。對產品高質量、小型化、高可靠性和高性能的追求,使超精密加工技術得以迅速發展,現已成為現代制造工業的重要組成部分。

              20世紀80年代至90年代為民間工業應用初期。在20世紀80年代,美國政府推動數家民間公司Moore Special Tool和Pneumo Precision公司開始超精密加工設備的商品化,而日本數家公司如Toshiba和Hitachi與歐洲的Cmfield大學等也陸續推出產品,這些設備開始面向一般民間工業光學組件商品的制造。但此時的超精密加工設備依然高貴而稀少,主要以專用機的形式訂作。在這一時期,除了加工軟質金屬的金剛石車床外,可加工硬質金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削也被開發出來。該技術特點是使用高剛性機構,以極小切深對脆性材料進行延性研磨,可使硬質金屬和脆性材料獲得納米級表面粗糙度。當然,其加工效率和機構的復雜性無法和金剛石車床相比。20世紀80年代后期,美國通過能源部“激光核聚變項目”和陸、海、空三軍“先進制造技術開發計劃”對超精密金剛石切削機床的開發研究,投入了巨額資金和大量人力,實現了大型零件的微英寸超精密加工。


              日本超精密加工最初從鋁、銅輪轂的金剛石切削開始,而后集中于計算機硬盤磁片的大批量生產,隨后是用于激光打印機等設備的多面鏡的快速金剛石切削,之后是非球面透鏡等光學元件的超精密切削。l982年上市的EastnlanKodak數碼相機使用的一枚非球面透鏡引起了日本產業界的廣泛關注,因為1枚非球面透鏡至少可替代3枚球面透鏡,光學成像系統因而小型化、輕質化,可廣泛應用于照相機、錄像機、工業電視、機器人視覺、CD、VCD、DvD、投影儀等光電產品。因而,非球面透鏡的精密成形加工成為日本光學產業界的研究熱點。


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