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發(fā)布時間:2021-03-31 15:13  
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真空腔體加工的注意事項
真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
超高真空系統(tǒng)主要采用不銹鋼材質(zhì)。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率、放氣率低和導(dǎo)熱率低、能夠在-270~900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應(yīng)用較廣。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。
真空腔體真空概念
真空是物理學(xué)里面的一個概念,反映的是空無一物的狀態(tài).在二十世紀(jì)的時候狄拉克提出了真空的概念,即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.
真空的屬性確實是需要用空間來描述,但只是種數(shù)學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說真空的性質(zhì)取決于空間.
真空技術(shù)是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗和物理測量等所需要的技術(shù).
用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在.
氣體稀薄程度是對真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.
真空腔體加工檢漏的辦法
一、真空封泥檢測法
用真空泥封住的漏點,此時要注意觀察真空度的改變,假如貼上真空泥之后真空度上升較快,拿掉之后又有了顯著的下降,這說明就是一個漏點哦。然而,這個辦法在實際檢測頂用的比較少
二、真空計檢漏法
部分真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān),例如電離真空計,熱偶計。用合適的氣體或許液體做示漏物質(zhì),這些真空計就成了探測器,一般鍍膜機(jī)上都會有真空計,在實際使用中也是比較常用的檢漏辦法。用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會有數(shù)百個分子存在。熱偶計的示漏物質(zhì)有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計的反響比較慢,要仔細(xì)觀察。用于電離計的示漏物質(zhì)主要有氦,,酒精等。