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發布時間:2020-11-13 09:54  
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負膠:曝光區域發生交聯,難溶于顯影液。特性:良好的粘附能力、良好的阻擋作用、感光速度快;顯影時發生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。
正膠:正性光刻膠的曝光區域更加容易溶解于顯影液。特性:分辨率高、臺階覆蓋好、對比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
目前一般都是用正膠,對于線寬要求不高的時候或者一些特殊的用途(比如PSS等)可以選擇負膠