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如何保證電子氣體的安全儲存

如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作，系統的工藝和產品本征安全設計，在眾多的國際標準規范如，等都有很詳細的規定，目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規范。通常而言，會根據氣體性質和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對輸送系統，特別是系統，因總量較大，應釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應，需要采用二氧化碳滅火系統。

使用電子氣體的工廠抽風系統，也根據危險品性質分成了普通排風系統（，酸性排風系統（，溶劑排風系統（和氨氣排風系統（。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接，經保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等，安全輸送系統（正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統（是全廠生命安全系統（的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。

液氮容器的使用維護

液氮容器的使用維護：

液氮罐要存放在通風良好的陰涼處，不要在太陽光下暴曬。由于其制造精密及固有的特性，無論在使用或存放時，嚴禁液氮罐傾斜、橫放、倒置、堆壓、相互撞擊或與其他物件碰撞，要始終保持罐體直立。

用于長期貯存時，則需要定期補充液氮，補充時一般應在液氮剩余量為總容量的三分之一為宜。

放進或取出冷凍物品時，要盡量使罐口打開時間短，以減少液氮消耗，也不要把提筒完全提出來。

嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。

嚴禁用硬物清除頸管內的凍霜，以免損傷頸管。

氧的毒性

氧是空氣的主要成份之一，占正常空氣體積的21.0%，是一切動植物內的組成成份。氧參與有機體的各種代謝過程，是生命活動必不可少的元素之一。但是，正常人體只需要一定濃度的氧，氧的濃度過高或過低都對人有害。氧的分壓過低會導致缺氧癥，氧的分壓過高會引起“氧中?。

在常壓下，氧的濃度超過40%時，就會有發生氧中?的可能性。人的氧中?主要有兩種類型：1、肺型——主要發生在氧分壓為1~2個大氣壓，相當于吸入氧濃度40%~60%左右。開始時，胸骨后稍有不適感，伴輕咳，進而感胸悶、胸骨后燒灼感和呼吸困難、咳嗽加劇。嚴重時可發生水腫、窒息。2、神經型——主要發生于氧分壓在3個大氣壓以上時，相當于吸入氧濃度80%以上。開始多出現口唇或面部肌肉抽動、面色蒼白、眩暈、心動過速、虛脫、繼而出現全身抽搐、昏迷、呼吸衰竭而死。

高純管道在高純氣體輸送中的意義

常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K  _* u, A& ~

電子行業中常見氣體的分類：/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O

普通氣體，也稱大宗氣體 （Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等

特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等